技術(shù)編號：9445656
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 MEMS技術(shù)被譽為21世紀帶有革命性的高新技術(shù)，其發(fā)展始于20世紀60年代， MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystem的縮寫，即微電子機械系統(tǒng)。微電子機械 系統(tǒng)（MEM巧是近年來發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的技術(shù)，該技術(shù)將對未來人類生活 產(chǎn)生革命性的影響。MEMS的基礎技術(shù)主要包括娃各向異性刻蝕技術(shù)、謹娃鍵合技術(shù)、表面 微機械技術(shù)、LIGA技術(shù)等，運些技術(shù)已成為研制生產(chǎn)MEMS必不可少的核屯、技術(shù)。 在W娃為基礎的MEMS加...
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