技術(shù)編號(hào)：9438778
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 光刻設(shè)備是施加所需圖案至襯底上、通常至襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。光刻設(shè)備 可以例如用于集成電路（IC)的制造中。在該情形中，備選地稱(chēng)作掩?；蚩叹€板的圖案化裝 置可以用于產(chǎn)生將要形成在IC的單個(gè)層上的電路圖案。該圖案可以轉(zhuǎn)移至襯底（例如硅 晶片）上的目標(biāo)部分（例如包括一個(gè)或數(shù)個(gè)裸片的一部分）上。圖案的轉(zhuǎn)移通常經(jīng)由對(duì)提 供在襯底上的輻射敏感材料（抗蝕劑）的層成像而完成。通常，單個(gè)襯底將包含連續(xù)圖案 化的相鄰目標(biāo)部分的網(wǎng)絡(luò)。已知的光刻設(shè)備包括所謂的步進(jìn)機(jī)，其中通...
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