技術(shù)編號(hào)：9428316
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。近年來隨著電子技術(shù)、宇航、生物工程等學(xué)科的迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用，尤其隨著微電子技術(shù)向大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路方向發(fā)展，機(jī)械零件的加工趨于復(fù)雜化，精密化，機(jī)械裝置也越來越趨于自動(dòng)化，智能化，精密化，越來越多的零件表面需要有精確的參數(shù)才能保證使用中的精確性與穩(wěn)定性。因此精密超精密表面測(cè)量技術(shù)也越來越受到人們的重視，各種類型的表面測(cè)量?jī)x器相繼被人們開發(fā)出來?；跉飧?dǎo)軌具有高精密運(yùn)行的特點(diǎn)，其被廣泛應(yīng)用在超精密測(cè)量?jī)x器中。為了進(jìn)一步提高儀器測(cè)量精度，經(jīng)研究...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。