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解決分柵快閃存儲(chǔ)器編程串?dāng)_失效的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9419052

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隨機(jī)存儲(chǔ)器(例如DRAM與SRAM)在使用過(guò)程中存在掉電后存儲(chǔ)數(shù)據(jù)丟失的問(wèn)題。為了克服該問(wèn)題,人們已經(jīng)設(shè)計(jì)并開發(fā)了多種快閃存儲(chǔ)器?;诟鸥拍畹拈W存由于具有較小的單元尺寸和良好的工作性能成為較為通用的快閃存儲(chǔ)器??扉W存儲(chǔ)器包括兩種基本結(jié)構(gòu)柵極疊層(stack gate)和分柵(split gate)結(jié)構(gòu)。其中,柵極疊層快閃存儲(chǔ)器包括依次形成于半導(dǎo)體基片上的隧穿氧化物層、存儲(chǔ)電子的浮置氮化硅層、控制氧化層、和控制電子存儲(chǔ)和釋放的控制柵極多晶硅層,即SONOS...
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