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掩膜版及其制造方法、制造裝置、掩膜版的使用方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9416546

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本發(fā)明涉及顯示,特別涉及一種掩膜版及其制造方法、制造裝置、掩膜版 的使用方法。背景技術(shù) 液晶顯示器(英文Liquid Cystal Display ;簡(jiǎn)稱LCD)是一種平面超薄的顯示 設(shè)備。在LCD的光刻工藝中,需要使用掩膜版進(jìn)行圖形制作。 現(xiàn)有技術(shù)中有一種掩膜版,該掩膜版的結(jié)構(gòu)如圖1所示,包括遮光區(qū)域01和透光 區(qū)域02,透光區(qū)域02的開口邊緣呈圓形。使用掩膜版進(jìn)行圖形制作的過程為將電子束或 激光作為光源,使該光源通過掩膜版對(duì)涂覆有光刻膠的襯底基板進(jìn)行...
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