技術(shù)編號：9415601
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在液體的檢查工序中，有時采用液體中粒子檢測裝置，來檢查液體是否包含粒子(例如，參見專利文獻I至3。)。液體中粒子檢測裝置向例如液體流動的流動池照射檢查光，并監(jiān)視是否檢測到由液體中包含的粒子所產(chǎn)生的散射光。另外，有時也監(jiān)視是否檢測到粒子發(fā)出的焚光。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I日本專利3263729號公報專利文獻2日本專利3265361號公報專利文獻3日本專利3962306號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題這里，有時如果未向液體中粒子檢測裝置中供給液體，或者輸送...
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