技術(shù)編號：9378085
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。靜電釋放ESD是薄膜晶體管液晶顯示器TFT-1XD制程中不良之一，嚴重影響產(chǎn)品良率。當(dāng)玻璃基板與玻璃基板上各個膜層的制備設(shè)備接觸或摩擦?xí)r，玻璃基板表面會聚集電荷，當(dāng)電荷積累到一定程度或者玻璃基板因和設(shè)備接觸造成局部曲率升高時就會形成放電，放電會破壞玻璃基板上已經(jīng)形成的膜層，造成不同膜層之間的短路，形成不良。特別是對于顯示基板顯示區(qū)外圍的布線區(qū)，由于布線區(qū)內(nèi)線路分布密集，所以上述靜電釋放導(dǎo)致的不良更為嚴重。在實際生產(chǎn)過程中，一般通過調(diào)整設(shè)備接觸點位置避開顯示...
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