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用于氣體分析器的多層膜干涉濾波器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:93536

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本發(fā)明涉及用于氣體分析器,特別是氨(NH3)、乙烯(C2H2)等氣體分析器的多層膜干涉濾波器。氨氣和乙烯有如圖1(a)和1(b)所示的光譜測定特性。它們二者都有2到3μm附近的吸收帶,但它們的這些吸收帶同水的吸收帶重疊,所以,通常用大約8到13μm的吸收帶測定氨氣和乙烯,相應(yīng)地,多層膜干涉濾波器必須是截取波長在8μm附近的長波可穿透濾波器??墒?,8μm比較長,所以這樣的濾波器的膜層組的數(shù)目要比截取波長約為6μm或比6μm小的濾波器大,并且濾波器的厚度也隨之增加。濾波器厚度的增長可能導(dǎo)致物理強度和耐久力減小,從而引起...
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