技術(shù)編號：9326382
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及等。背景技術(shù) 現(xiàn)有技術(shù)中，已知有具備彼此相對的一對基板、分別配置于各基板并彼此相對的 反射膜、以及分別配置于各基板并彼此相對的電極（靜電致動器）的波長可變干涉濾波器 (例如，參照專利文獻(xiàn)1)。 在專利文獻(xiàn)1記載的法布里-珀羅濾波器中，于一對反射膜的周圍分別配置能夠 獨(dú)立驅(qū)動的四個(gè)靜電致動器，并將這些靜電致動器分別連接于檢測部。然后，各靜電致動器 中的靜電電容通過檢測部檢測，基于檢測出的靜電電容，由間隙控制部控制施加于各靜電 致動器的驅(qū)動電壓。在...
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