技術(shù)編號(hào)：9317374
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及駐極體極化，具體涉及。背景技術(shù)駐極體包括駐極體基體及其表面的極化電荷。極化技術(shù)是實(shí)現(xiàn)駐極體獲取高密度電荷的唯一手段，對(duì)于駐極體式微機(jī)電系統(tǒng)的性能起到?jīng)Q定性作用，是開展駐極體微機(jī)電系統(tǒng)研究的首要關(guān)鍵技術(shù)。國(guó)內(nèi)外專家學(xué)者對(duì)于駐極體的極化技術(shù)開展了廣泛的研究?，F(xiàn)有的經(jīng)典的駐極體極化方式為電暈極化，它是利用空氣高壓電暈放電機(jī)理，然而產(chǎn)生的離子不能穿透有阻擋的固體介質(zhì)，只能極化裸露的駐極體，且極化時(shí)間長(zhǎng)達(dá)10?30分鐘，因此電暈極化無法對(duì)于封裝后的駐極體進(jìn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。