技術編號：9317373
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。駐極體包括駐極體基體及其表面的極化電荷。極化技術是實現(xiàn)駐極體獲取高密度電荷的唯一手段，對于駐極體式微機電系統(tǒng)的性能起到決定性作用，是開展駐極體微機電系統(tǒng)研究的首要關鍵技術。國內外專家學者對于駐極體的極化技術開展了廣泛的研究。現(xiàn)有的經典的駐極體極化方式為電暈極化，它是利用空氣高壓電弧放電機理，然而電暈放電產生的離子由于電荷“聚集”效應無法極化具有高深寬比結構的駐極體；同時電暈極化不能穿透有阻擋的固體介質，因此無法對于封裝后的駐極體進行極化。發(fā)明內容針對以上現(xiàn)...
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