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熱電變換裝置以及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9308777

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以往,作為這種熱電變換裝置,提出有在上部基板與下部基板之間配置有多個(gè)熱電變換元件,該多個(gè)熱電變換元件經(jīng)由焊錫與形成于上部基板以及下部基板的布線圖案電連接以及機(jī)械式連接的裝置(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。具體而言,在該熱電變換裝置中,在布線圖案上形成有層疊有N1、Pd、Pt、Nb、Cr、Ti等的層疊膜。而且,層疊膜與焊錫接合。此外,鄰接的熱電變換元件之間成為空洞。由此,通過(guò)層疊膜能夠使焊錫的潤(rùn)濕性提高,能夠?qū)⒑稿a與布線圖案牢固地接合。另外,通過(guò)在熱電變換元件與焊...
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