技術(shù)編號(hào):93079
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及采用能產(chǎn)生外來(lái)粒子物質(zhì)的光束加工工件的裝置。更確切地說(shuō),本發(fā)明與收集和清除在加工操作過(guò)程中作為不希望有的付產(chǎn)品而出現(xiàn)的粒子物質(zhì)的裝置有關(guān)。通常,使用一束光,例如激光束,的加工操作是在放有待加工工件的箱內(nèi)維持有保護(hù)性氣體氣氛中進(jìn)行的。在加工箱中的保護(hù)性氣氛通常都維持于整個(gè)加工操作過(guò)程中,方法是通過(guò)把一種非活性或惰性氣體,例如氬氣,在箱的底部連續(xù)地引入箱內(nèi),并當(dāng)新氣體進(jìn)入時(shí)可使氣體從箱的頂部逃逸出去,從加工箱中逃逸的氣體可以進(jìn)入一個(gè)壓力通風(fēng)系統(tǒng)并從此系統(tǒng)中排放出去。通過(guò)并從加工箱中射出的惰性氣體將攜帶在箱...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。