技術(shù)編號(hào)：9291826
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 半導(dǎo)體制作通常涉及眾多精密且復(fù)雜處理步驟。對(duì)每一工藝步驟的監(jiān)測(cè)及評(píng)價(jià)是 至關(guān)緊要的，以確保制造準(zhǔn)確度并最終實(shí)現(xiàn)成品裝置的所要性能。遍及眾多工藝（例如成 像工藝、沉積及生長(zhǎng)工藝、蝕刻及遮蔽工藝），（舉例來(lái)說(shuō)）在每一步驟期間謹(jǐn)慎控制溫度、 氣流、真空壓力、化學(xué)氣體或等離子組合物及暴露距離是關(guān)鍵的。仔細(xì)注意每一步驟中所涉 及的各種處理?xiàng)l件是優(yōu)化半導(dǎo)體或薄膜工藝的要求。與優(yōu)化處理?xiàng)l件的任何偏差均可致使 后續(xù)集成電路或裝置以次標(biāo)準(zhǔn)水平執(zhí)行，或者更糟糕的情況是，完全...
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