技術(shù)編號：9290943
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種在濺射靶中利用的氧化鋅系燒結(jié)體及其制造方法，特別是涉及一 種在濺射成膜中產(chǎn)生的異常放電（電弧放電）受到抑制而可以長時間連續(xù)成膜的氧化鋅系 燒結(jié)體及其制造方法，以及對氧化鋅系燒結(jié)體進(jìn)行加工而獲得的濺射靶和通過濺射成膜法 制造的高電阻的透明導(dǎo)電膜。背景技術(shù) 具有高導(dǎo)電性和在可見光區(qū)域的高透過率的透明導(dǎo)電膜，除了應(yīng)用于太陽能電池 或液晶顯示元件、有機電致發(fā)光或無機電致發(fā)光等的表面元件、以及觸控面板用電極等以 外，也作為汽車車窗或建筑用的熱線反射膜...
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