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Nldmos器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9275670

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500V橫向擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體(LDMOS)既具有分立器件高壓大電流特點(diǎn),又汲取了低壓集成電路高密度智能邏輯控制的優(yōu)點(diǎn),單芯片實(shí)現(xiàn)原來多個(gè)芯片才能完成的功能,大大縮小了面積,降低了成本,提高了能效,符合現(xiàn)代電力電子器件小型化,智能化,低能耗的發(fā)展方向。擊穿電壓作為衡量500V器件的關(guān)鍵參數(shù)而顯得尤為重要,現(xiàn)有技術(shù)通過在漂移區(qū)的表面形成PTOP層能夠增加漂移區(qū)的耗盡,實(shí)現(xiàn)降低表面電場(chǎng)(Resurf)效果,如圖1所示,是現(xiàn)有NLDMOS器件的結(jié)構(gòu)示意圖;在硅...
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