技術(shù)編號：9256701
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種，且特別是關(guān)于一種利用氧化層厚度來精確控制間隙的微機(jī)電晶圓結(jié)構(gòu)的制作方法。背景技術(shù)精確的超聲波傳感或壓力監(jiān)控在現(xiàn)今許多技術(shù)中扮演相當(dāng)重要的角色，例如醫(yī)學(xué)上的超音波掃描探頭或是汽車上的輪胎壓力傳感器。因此許多技術(shù)都需要高精度傳感的傳感器。現(xiàn)今電容式傳感器的靈敏度取決于如何精確的控制薄膜(membrane)厚度及上下極板間的間隙(gap)，而在常見的電容式傳感器的制造方法上仍有缺陷，以下列舉部分前案進(jìn)行說明在美國專利第5013396號中，是利用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。