技術(shù)編號:9239701
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明用于改進(jìn)連續(xù)Czochralski方法中的晶體生長的堰 相關(guān)申請的交叉引用 本申請要求2012年11月29日提交的美國專利申請No. 13/689, 189的優(yōu)先權(quán),通 過引用將其全部公開內(nèi)容全部并入本文中。 領(lǐng)域 本公開內(nèi)容的領(lǐng)域一般性地涉及通過Czochralski方法生長單晶半導(dǎo)體材料。特 別地,本公開內(nèi)容的領(lǐng)域涉及使用帽堰(cap weir)的連續(xù)Czochralski方法。配置帽堰用 于改進(jìn)氣體的流量和壓力,這降低堰的腐蝕速率。 背景 在...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。