技術編號：9236615
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在平板顯示器、半導體、太陽能電池等制造中使用的退火(annealing)裝置，是為了向硅晶片或玻璃基板之類的基板上所蒸鍍的規(guī)定的薄膜進行結(jié)晶化、相變化等工藝所必須的熱處理步驟中使用的裝置。為了進行熱處理工藝，需要可對形成有規(guī)定薄膜的基板進行加熱的熱處理裝置。通常，熱處理裝置分為可對一個基板進行熱處理的單片式和可對多個基板進行熱處理的批處理式。在熱處理方法中，由于快速熱處理方法(RTArapid thermal annealing)可使基板溫度迅速達到熱處理...
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