技術(shù)編號(hào)：9218533
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體薄膜晶體管制備，涉及一種基于綠色環(huán)保水性溶膠的薄膜晶體管的制備方法，以水性超薄氧化鈧(Sc2O3)為高k介電層、水性氧化銦鋅(InZnO)為半導(dǎo)體溝道層制備薄膜結(jié)構(gòu)的晶體管。背景技術(shù)目前，薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)在有源矩陣驅(qū)動(dòng)液晶顯示器件(Active Matrix Liquid Crystal Display, AMIXD)中發(fā)揮了重要作用。從低溫非晶硅TFT到高溫多晶硅TFT，技術(shù)越來(lái)越成熟，應(yīng)用對(duì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。