技術(shù)編號：9215898
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-electromechanical Systems,MEMS)及納米科技的進(jìn)步，微探針在掃描探針顯微鏡、隧道傳感器、微納米加工、高密度數(shù)據(jù)存儲中的應(yīng)用越來越多。參閱圖1a至圖lc，現(xiàn)有技術(shù)提供的微探針包括一個或多個懸臂梁310，每個懸臂梁310的端部均可以與測試樣品200表面建立電連接。在對測試樣品200進(jìn)行測試時，首先需要將微探針的懸臂梁310的前端頭與測試樣品200的表面進(jìn)行接觸，然后對懸臂梁310施加一定的壓力使其產(chǎn)生形變...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。