技術編號：9215193
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微機電的固體波動模態(tài)匹配陀螺，具體地，涉及。背景技術陀螺儀是一種能夠敏感載體角度或角速度的慣性器件，在姿態(tài)控制和導航定位等領域有著非常重要的作用。隨著國防科技和航空、航天工業(yè)的發(fā)展，慣性導航系統(tǒng)對于陀螺儀的要求也向低成本、小體積、高精度、多軸檢測、高可靠性、能適應各種惡劣環(huán)境的方向發(fā)展?；贛EMS技術的微陀螺儀采用微納批量制造技術加工，其成本、尺寸、功耗都很低，而且環(huán)境適應性、工作壽命、可靠性、集成度與傳統(tǒng)技術相比有極大的提高，因而MEMS...
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