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一種多晶硅鑄錠氮化硅涂層坩堝及涂層制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9196336

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本發(fā)明涉及一種多晶硅鑄錠生產(chǎn)技術(shù)設備領域,特別涉及。背景技術(shù)多晶硅鑄錠制備過程中,陶瓷坩堝是其必備的容器,硅料在坩堝內(nèi)熔化、晶體生長、退火冷卻,鑄成多晶硅錠。將硅錠按照技術(shù)要求切割成硅片,便成為生產(chǎn)制造太陽能電池的基體材料。陶瓷坩堝的材料基體為陶瓷,其晶相為晶體和玻璃體,制備鑄造多晶硅時,在原料熔化,晶體生長過程中,硅熔體和坩堝長時間接觸,會產(chǎn)生黏滯作用。由于兩種材料的熱膨脹系數(shù)不同,如果硅材料和坩堝壁結(jié)合緊密,在晶體冷卻時很可能造成晶體硅或坩堝破裂;同時...
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