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Mems慣性傳感器、濕度傳感器集成裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9104957

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近年來(lái),隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,手機(jī)、筆記本電腦等電子產(chǎn)品的體積在不斷減小,而且人們對(duì)這些便攜電子產(chǎn)品的性能要求也越來(lái)越高,這就要求與之配套的電子零部件的體積也必須隨之減小。傳感器作為測(cè)量器件,已經(jīng)普遍應(yīng)用在手機(jī)、筆記本電腦等電子產(chǎn)品上,眾多系統(tǒng)廠(chǎng)商希望這些測(cè)量器件在保持現(xiàn)有性能的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步縮小芯片的尺寸,以適應(yīng)這類(lèi)電子產(chǎn)品的小型化發(fā)展。但是在現(xiàn)有的工藝結(jié)構(gòu)中,MEMS慣性器件和濕度傳感器大多采用不同的工藝流程,所以只能通過(guò)兩顆不同的芯片來(lái)分別實(shí)現(xiàn)慣性信號(hào)...
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