技術(shù)編號(hào):9066335
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體制程中,化學(xué)清洗和機(jī)械研磨兩道制程會(huì)產(chǎn)生大量含氨的廢水,這些含氨的廢水通常使用氨(Ammonia)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理,以滿足工業(yè)廢水(氣)排放標(biāo)準(zhǔn)。Ammonia處理系統(tǒng)的工作原理是首先在PH調(diào)節(jié)槽中加入NaOH,以將氨水的PH值調(diào)節(jié)至12?13之間,此時(shí),氨水中的銨根正離子(NH4+)會(huì)與氫氧根離子(0H-)發(fā)生如下反應(yīng)OH-(氫氧根離子)+NH4+ = H2O (水)+NH3 (氨氣)t之后,反應(yīng)產(chǎn)生的氨水(氣)進(jìn)入第一、二吸收塔,并通過風(fēng)機(jī)將氨...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。