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步進(jìn)電機(jī)氣動(dòng)微閥的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9064284

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目前,市場(chǎng)上所使用的壓力驅(qū)動(dòng)式微流量控制系統(tǒng)和氣動(dòng)微流控芯片中所使用的氣動(dòng)閥采用的是常規(guī)的氣動(dòng)元件。壓力驅(qū)動(dòng)式微流量控制系統(tǒng)的原理是通過(guò)氣動(dòng)閥控制氣體的壓力,并利用這一壓力將液體從存液容器中以一定流量輸出。氣動(dòng)微流控芯片的原理是通過(guò)控制微流控芯片上位于液體流道下方的氣體流道的壓力,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)液體流道開(kāi)關(guān)的控制。這二者中所使用的氣體流量(壓力)控制閥均為常規(guī)的氣動(dòng)閥,存在如下缺點(diǎn)1)與微流控系統(tǒng)/微流控芯片本身體積相比,采用的常規(guī)氣動(dòng)閥的體積過(guò)大,導(dǎo)致整個(gè)系...
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