技術(shù)編號：90170
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于能在低真空度階段內(nèi)獲得高抽氣效率的渦輪分子泵。在第七屆國際真空會議和第三屆固體表面國際會議(維也納.1977)的會議第25頁至第32頁題為“渦輪分子泵發(fā)展現(xiàn)況”的論文中指出，這種渦輪分子泵設(shè)計成機(jī)械地吹走氣體分子的排氣，因而達(dá)到超高的真空度。為了這個目的，泵體包括了由可高速轉(zhuǎn)動的傾斜葉片組成的轉(zhuǎn)子和由與轉(zhuǎn)子葉片反向傾斜的葉片組成的定子。這些轉(zhuǎn)子和定子通常按互相交替方法多級排列。然而，用這種類型的泵，因多級葉片的壓縮比低，低真空度階段的抽氣性能嚴(yán)重下降。為了消除這種缺點，可以有軸向配置的許多轉(zhuǎn)子葉片和定子...
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