技術編號：8995265
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。分子泵是一種用于獲得高真空及超高真空的真空泵，具有清潔無油，抽速大，極限高，耗能少的優(yōu)點。廣泛應用于鍍膜，電子顯微鏡，質(zhì)譜儀，半導體及太陽能電池生產(chǎn)，單晶硅及藍寶石爐等各種需要高真空的實驗室及工業(yè)場合。分子泵在裝配完成后需要進行動平衡調(diào)試及研車試驗，分子泵調(diào)試臺就是為分子泵調(diào)試提供條件并提供一定安全保護的設備。現(xiàn)有技術中的分子泵調(diào)試臺采用的是每臺分子泵的調(diào)試位置配套獨立的前級泵、管道及閥門的方式，不僅浪費資源，而且操作起來也比較繁瑣。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目...
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