技術(shù)編號(hào)：8787917
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。PECVD作為鍍膜最常用的工藝之一，被廣泛用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)過(guò)程中。作為硅片的載體，石墨是最理想的材料之一，對(duì)表面鍍膜的均勻性、色差等產(chǎn)生至關(guān)重要的作用，要求其有高純度、耐腐蝕、極好的抗彎強(qiáng)度和良好的導(dǎo)電性能。現(xiàn)有的石墨舟葉片直接接觸小車，沒(méi)有緩沖空間，容易損壞和變形影響了產(chǎn)能和轉(zhuǎn)換效率，更直接的是減短了石墨舟的使用壽命，也大大提高了成本。在生產(chǎn)過(guò)程中葉片變形會(huì)直接影響到硅片的鍍膜均勻性產(chǎn)生色差，不能正常流通。帶來(lái)二次返工，影響載流子的壽命降低...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。