技術(shù)編號(hào)：87277
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及，屬于準(zhǔn)分子激光微加工領(lǐng)域。 背景技術(shù)準(zhǔn)分子激光具有較高的光子能量，脈寬窄，脈沖能量密度高，可聚焦到極小光斑等優(yōu)越的加工性能，成為微細(xì)加工領(lǐng)域重要的加工手段。 利用準(zhǔn)分子激光這些優(yōu)點(diǎn)對(duì)各種材料進(jìn)行了大量的刻蝕研究發(fā)現(xiàn)，準(zhǔn)分子激光刻蝕機(jī)理存在熱效應(yīng)和光化學(xué)兩種情況，并非完全基于非熱機(jī)理。在不同試樣表面及內(nèi)部都產(chǎn)生一定程度的橫向影響區(qū)。例如，準(zhǔn)分子激光刻蝕硅、鋼及不銹鋼時(shí)，微結(jié)構(gòu)周圍可以看到被落回的熔融噴射物灼燒的痕跡，而且在這些痕跡周圍，由于熱量的傳播使試樣表面溫度升高而發(fā)生氧化，導(dǎo)致表面顏色變深...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。