技術(shù)編號(hào):8720516
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。通常,在配置混合氣體過(guò)程中,需要用原料氣體反復(fù)多次對(duì)配氣系統(tǒng)管道采取抽空、充入原料氣體、抽空、充入原料氣體的操作來(lái)進(jìn)行系統(tǒng)置換,然后再把原料氣體充入欲配氣的氣瓶中。在配氣完成后,還需要把配氣瓶與配氣裝置的接頭卸掉。在這個(gè)操作過(guò)程中,會(huì)有少量原料氣體進(jìn)入配氣人員所處的工作環(huán)境中,特別是卸下有毒有害原料氣瓶時(shí),有可能直接接觸有毒有害的氣體,有可能導(dǎo)致工作人員中毒,存在較大的安全隱患。同時(shí),在配置含砷烷、磷烷、乙硼烷等電子氣體成分的混合氣時(shí),氣體排空及抽真空系統(tǒng)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。