技術(shù)編號(hào):8705685
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在現(xiàn)有技術(shù)的光刻設(shè)備中,通常是使用機(jī)械手臂將光罩傳輸至設(shè)備內(nèi)部,將光罩(Mask or Reticle)放置位于多組透鏡的上方,以進(jìn)行曝光等工藝。通常情況下,所述光罩的傳送處理都是由機(jī)械手完成的,但有些時(shí)候不得不使用手動(dòng)去處理沒(méi)有保護(hù)的光罩,譬如,在光刻的過(guò)程中,如果光刻設(shè)備出現(xiàn)意外或者故障時(shí),由于光刻設(shè)備無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行正常工作,需要手動(dòng)取出所述光罩,重新對(duì)設(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行恢復(fù)之后才能進(jìn)行工作?,F(xiàn)有工藝中,在需要手動(dòng)處理所述光罩的時(shí)候,一般需要使用手動(dòng)光罩夾來(lái)實(shí)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。