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刺入深度可控的異平面微針陣列腦電干電極的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:865655

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本發(fā)明涉及的是一種生物醫(yī)學領(lǐng)域的裝置,具體是一種刺入深度可控的異平面微針陣列腦電干電極。背景技術(shù)近年來,隨著微機電系統(tǒng)(MEMSMicro-Electro-Mechanical Systems)技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟,使得微電子設備和微傳感器等微型系統(tǒng)應用范圍不斷擴大,已廣泛應用于民用、醫(yī)學、軍事等領(lǐng)域?;谖⒓庸すに嚨尼樞臀㈦姌O的研究得到了迅速發(fā)展。微電極結(jié)構(gòu)主要有平面微電極和異平面微電極以及將平面微電極組裝成陣列形狀的微電極,這些不同結(jié)構(gòu)的微電極都具有各...
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