技術(shù)編號：85677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種應(yīng)用掃描探針顯微鏡方法(SPM)技術(shù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中使用的電磁驅(qū)動微致動器，以及一種具有可以通過改善介質(zhì)平臺的面積效率而增加數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的存儲容量，因而減少制造成本的微致動器，背景技術(shù)一種應(yīng)用掃描探針顯微鏡方法(SPM)技術(shù)的典型的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)包括安裝在平臺上的數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)；用于在x和y方向上驅(qū)動所述數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)的微致動器；一或多個探針，每個探針具有用于從數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)讀出并且向數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)紀錄數(shù)據(jù)的尖端；和用于處理數(shù)據(jù)信號的信號處理單元。 為了至少在兩個方向上，例如x和y方向上驅(qū)動微致動器，...
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