技術(shù)編號(hào)：8553490
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說(shuō)明 相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用 本申請(qǐng)要求2014年2月28日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)61/946, 164的優(yōu)先權(quán) 權(quán)益，該臨時(shí)申請(qǐng)通過(guò)引用以其整體并入本文。 發(fā)明背景 本文描述了制備有機(jī)氨基硅烷化合物的方法，該化合物可以用作例如用于沉積含 硅薄膜的化學(xué)前體。本文還描述了適用于多種工業(yè)應(yīng)用的化合物，更具體地有機(jī)胺、有機(jī)氨 基硅烷、有機(jī)氨基乙硅烷和/或有機(jī)氨基碳硅烷（organoaminocarbosilane)化合物。 包含_5以3或-SiH2-部分的有機(jī)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。