技術(shù)編號:8539557
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。現(xiàn)有技術(shù)中,在制作OLED顯示面板時,一般常采用真空蒸鍍的方式將有機材料或金屬材料等蒸鍍到基底上,形成所需的膜層。具體地,利用如圖1(a)所示的具有多個開口11的掩膜板,包括遮擋板12和外邊框13,通過在真空腔室中對蒸鍍源進行高溫加熱,使得有機材料或金屬材料穿過開口蒸發(fā)到基底上,形成相應(yīng)的膜層。如圖1(b)所示,為現(xiàn)有掩膜板中任意一個開口 11及其附近的遮擋板12的剖面結(jié)構(gòu)圖,該開口 11由遮擋板切面14包圍而成,且該開口 11附近的遮擋板12的截面呈八字...
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