技術(shù)編號：8529312
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種對定位對象物進行拍攝來對距基準位置的位移進行檢測的位移檢測裝置及位移檢測方法和利用該技術(shù)的基板處理裝置及基板處理方法。背景技術(shù)日本特開2012-104732號公報上記載的技術(shù)為將涂敷液涂敷在基板上的技術(shù)，通過將噴嘴定位在與保持在旋轉(zhuǎn)卡盤上進行旋轉(zhuǎn)的基板的旋轉(zhuǎn)中心相對的位置上，并從該噴嘴向基板的旋轉(zhuǎn)中心噴出涂敷液，來將涂敷液涂敷在基板的表面上。在該技術(shù)中，CCD照相機從在水平面(XY面)內(nèi)垂直的2個方向(X方向和Y方向)對在旋轉(zhuǎn)卡盤的中心設置的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。