技術(shù)編號(hào)：8519646
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS開關(guān)往往具有輸入節(jié)點(diǎn)、輸出節(jié)點(diǎn)以及使輸入節(jié)點(diǎn)和輸出節(jié)點(diǎn)有選擇地連接的可移動(dòng)構(gòu)件。節(jié)點(diǎn)和可移動(dòng)構(gòu)件兩者都經(jīng)常形成在襯底上。開關(guān)可以具有電極，其在使用過(guò)程中施加靜電力，從而朝輸出節(jié)點(diǎn)上的接觸件向下推動(dòng)(urge)懸臂。輸入節(jié)點(diǎn)、可移動(dòng)構(gòu)件和輸出節(jié)點(diǎn)在連接的情況下形成了用于將信號(hào)從輸入節(jié)點(diǎn)引導(dǎo)至輸出節(jié)點(diǎn)的電通道。要向斷開這一通道，所述電極施加相反的力，或者根本不施加任何力，從而促使可移動(dòng)構(gòu)件遠(yuǎn)離輸出節(jié)點(diǎn)。不期望的是，施加至輸入節(jié)點(diǎn)的充分高的射頻功率(即R...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。