技術編號:8506897
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。在環(huán)境空氣質量監(jiān)測、裝備內環(huán)境監(jiān)測、智能電網(wǎng)故障診斷以及石油勘探等現(xiàn)場氣體(主要有(^、(^。(^、^^{、(^?(^等低碳烴類化合物等)快速檢測中,需要大量的微型熱導檢測器來實現(xiàn)現(xiàn)場分析或在線監(jiān)測。熱導檢測器是色譜領域中非常重要且應用廣泛的一種檢測器,這種檢測器幾乎對所有氣體都響應,這是其它類型檢測器無法替代和比擬的。隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的日益成熟,基于MEMS技術的微型熱導檢測器(Micro-TCD),不僅具有響應速度快的特點,最重要的是這種...
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