技術(shù)編號：8499272
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明感應(yīng)耦合等離子體反應(yīng)器本申請是申請日為2007年05月22日，申請?zhí)枮?00710105100.0，發(fā)明名稱為“感應(yīng)耦合等離子體反應(yīng)器”的專利申請的分案申請。本發(fā)明涉及一種射頻(rad1 frequency)等離子體源(plasma source)，具體地說，涉及一種可以更均勻地產(chǎn)生高密度的等離子體的感應(yīng)耦合等離子體反應(yīng)器。背景技術(shù)等離子體是包含相同數(shù)量的陽離子(positive 1ns)和電子(electrons)的高度離子化的氣體。等離子體放電...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。