技術(shù)編號：8497831
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前，隨著消費電子和可穿戴設(shè)備的發(fā)展，對MEMS慣性傳感器的性能提出了越來越高的要求，眾多系統(tǒng)廠商希望MEMS慣性器件在保持現(xiàn)有性能的基礎(chǔ)上，進一步縮小芯片的尺寸。目前的MEMS慣性器件，其敏感結(jié)構(gòu)層通過鍵合錨定在襯底上，在敏感結(jié)構(gòu)層的上表面鍵合MEMS密封蓋，形成與外界隔離的密封腔體。目前的問題是，MEMS工藝的發(fā)展已經(jīng)比較成熟，工藝能力已經(jīng)接近極限，很難再根據(jù)系統(tǒng)廠商的要求進一步縮減芯片的尺寸，而芯片性能繼續(xù)提升的空間也已經(jīng)很小。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個目...
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