技術(shù)編號：8486991
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 在精密機械加工、組裝以及光刻加工中，為了保證加工出來的產(chǎn)品質(zhì)量滿足要求， 往往會對工件臺的位置狀況提出很高的要求，不僅要保證工件臺的位置精度，還要保證其 水平度，這就要求檢測鏡頭具有很高的精度，同時為了不影響加工，鏡頭的尺寸也不能太 大，這對于檢測鏡頭的設(shè)計來說是一個不小的挑戰(zhàn)。發(fā)明內(nèi)容 為了解決上述難題，本發(fā)明設(shè)計了一種用于光刻精密工件臺的針孔檢測鏡頭，可 以有效地校正各類像差，達到較高的分辨率，從而準(zhǔn)確的知道光刻工件臺的位置情況。 本發(fā)明采用的技術(shù)方...
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