技術編號：8476633
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明傳感器和光刻設備相關申請的交叉引用本申請要求2012年10月31日提交的美國臨時申請61/720，700的權益，并且將其通過整體引用并入本文。本發(fā)明涉及傳感器和光刻設備。背景技術光刻設備是將期望的圖案應用到襯底上(通常到襯底的目標部分上)的機器。例如，可以在集成電路(IC)的制造中使用光刻設備。在這種情況下，可以使用圖案形成裝置(備選地稱為掩模或者掩模版)來產生將在IC的單獨層上形成的電路圖案。該圖案可以被轉移到襯底(例如，硅晶片)上的目標部分(例...
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