技術(shù)編號：8476489
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在蒸鍍裝置或濺鍍裝置等各種真空成膜裝置中，作為在對構(gòu)成該裝置的真空腔室的內(nèi)部抽真空的排氣裝置中使用的真空泵，使用油擴散泵。在以往的油擴散泵中，已知下述這樣的油擴散泵使用具有加熱線的電熱器作為收容于鍋爐內(nèi)的工作油的加熱源(專利文獻(xiàn)I)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本特開2007-23778號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題在使用加熱線作為工作油的加熱源的情況下，具有能夠以低成本形成裝置的優(yōu)點，但會包含引起以下各種問題的因素例如，由于加熱線的斷線而使加熱功能消...
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