技術(shù)編號：8474051
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System,簡稱MEMS)是一種獲取信息、處理信息和執(zhí)行操作的集成器件。微機(jī)電系統(tǒng)中的傳感器能夠接收壓力、位置、速度、加速度、磁場、溫度或濕度等外部信息，并將所獲得的外部信息轉(zhuǎn)換成電信號，以便于在微機(jī)電系統(tǒng)中進(jìn)行處理。壓力傳感器即是一種將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號的轉(zhuǎn)換器件。電容式壓力傳感器是現(xiàn)有壓力傳感器中的一種，現(xiàn)有技術(shù)的一種電容式壓力傳感器包括襯底；位于襯底表面的第一電極層；位于襯底和第一電極層...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。