技術(shù)編號：84665
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種，且特別是有關(guān)于一種具有滾輪的。背景技術(shù)請參照圖1所示雙層晶圓的示意圖，雙層晶圓100是由硅板102及玻璃板104對組而成。硅板102的背面102a具有數(shù)個未切穿的第一刀痕112，玻璃板104的上表面104a具有數(shù)個未切穿的第二刀痕114。傳統(tǒng)雙層晶圓100的分離方法是由人員施加作用力于硅板102的第一刀痕112及玻璃板104的第二刀痕114，將雙層晶圓100折斷而分離為數(shù)個雙層晶粒。由于人員不容易控制施力的大小及方向，使得分離后的雙層晶粒的邊緣極不平整，影響晶粒在組件內(nèi)應(yīng)用過程的電性表現(xiàn)。若...
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