技術(shù)編號：84660
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明有關(guān)于一種，特別是有關(guān)于一種在晶圓級封裝制程中將一干膜壓合在一例如晶圓的基板上的方法。背景技術(shù)在晶圓級封裝領(lǐng)域中，通常是以光阻材料進行影像轉(zhuǎn)印，以供沉積或蝕刻以在一晶圓上形成凸塊或線路。為了能達到適當(dāng)?shù)暮穸群土己玫挠跋裥Ч?，目前所使用的光阻材料為干?dry film)。傳統(tǒng)的干膜具有三層結(jié)構(gòu)，其包括一層透光載膜、至少一光阻層以及一保護層，其中光阻層被夾設(shè)于透光載膜與保護層之間。在剝離保護層之后，將干膜的該光阻層壓合至一基板(比如晶圓)上，再進行曝光與顯影，就可以形成圖案影像了。然而，當(dāng)該干膜壓合在晶...
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