技術(shù)編號：8448801
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 在印刷配線板的制造中，在用光蝕刻法形成銅配線圖案的情況下，是使用氯化鐵 系蝕刻液、氯化銅系蝕刻液、堿性蝕刻液等作為蝕刻液。如果使用這些蝕刻液，則存在蝕刻 抗蝕劑下的銅自配線圖案的側(cè)面溶解，被稱為"側(cè)蝕"的情況。即，產(chǎn)生如下現(xiàn)象被蝕刻抗 蝕劑所覆蓋，本來期望不被蝕刻而除去的部分（即，銅配線部分）卻被蝕刻液除去，而使該 銅配線的寬度從底部往頂部變細。特別是在銅配線圖案微細的情況下，必須使此種側(cè)蝕盡 可能地變少。為了抑制該側(cè)蝕，而提出了調(diào)配有唑化合物的蝕刻液（...
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