技術(shù)編號(hào)：8446737
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中，芯片線寬越來越小，集成度越來越高，對(duì)機(jī)臺(tái)的要求也越來越高。鋁刻蝕是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的主要刻蝕工藝之一，其金屬層大多使用純鋁、鋁銅、鋁硅、鋁硅銅等合金，而鋁刻蝕的主要作用就是將設(shè)計(jì)好的金屬連線圖形轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品上，從而實(shí)現(xiàn)連線或者柵極的作用。在半導(dǎo)體制造業(yè)界，進(jìn)行0.8微米以下線寬鋁刻蝕的主流機(jī)臺(tái)為TCP9600、DPS等機(jī)臺(tái)，但這些機(jī)臺(tái)的價(jià)格昂貴，而應(yīng)用材料的8330價(jià)格則相對(duì)低，但其正常能作業(yè)的最小線寬為0.8微米。應(yīng)用材料8330使用的氣...
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