技術(shù)編號：8432220
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子加工，具體地，涉及一種片盒定位裝置以及半導(dǎo)體加工設(shè)備。背景技術(shù)從片盒(Cassette)中取出晶片是眾多半導(dǎo)體加工設(shè)備自動(dòng)化傳輸過程的第一步，所以取片的效率和可靠性便成為實(shí)現(xiàn)晶片高度自動(dòng)化生產(chǎn)的重要必要條件之一。圖1為半導(dǎo)體加工設(shè)備的原理框圖。如圖1所示，半導(dǎo)體加工設(shè)備包括裝載腔室13、傳輸腔室2和反應(yīng)腔室3。其中，裝載腔室13用于承載片盒I ;片盒I用于承載多個(gè)晶片，其具體結(jié)構(gòu)如圖2所示，片盒I的左側(cè)、右側(cè)和后端(圖2中片盒I的左面、右面...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。